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高精度离轴非球面镜加工案例
以下以口径320mmx110mm离轴抛物面为例，
通过我们的有效口径内 Luphoscan 检测精度达到 PV=0.169 λ ,RMS=0.016 λ；干涉仪自准直检测达到 PV=0.21 λ ,
RMS=0.016 λ 粗糙度Rq=0.31nm ，光洁度优于 10/5以下以口径320mmx110mm离轴抛物面为例，
通过我们的有效口径内 Luphoscan 检测精度达到 PV=0.169 λ ,RMS=0.016 λ；干涉仪自准直检测达到 PV=0.21 λ ,
RMS=0.016 λ 粗糙度Rq=0.31nm ，光洁度优于 10/5
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